
Una máquina integrada de agua fría y caliente con protección multicapa adecuada para I+D en laboratorios biológicos
La unidad todo en uno de calentamiento y enfriamiento funciona como un dispositivo crítico de control de temperatura en la industria de semiconductores, proporcionando principalmente una regulación de temperatura precisa y estable para equipos de proceso y piezas de trabajo durante la producción y prueba de semiconductores para garantizar el rendimiento del proceso y el rendimiento del producto.
Número de artículo :
LCH-05W(A)-10WPedido (cantidad mínima de pedido) :
1Pago :
EXW/FOB/CIF/FCA/DPU/DDUOrigen del producto :
CHINAColor :
CustomizablePuerto de embarque :
SHANGHAI/NANJINGplazo de entrega :
22Peso :
160KG
Serie LCH Agua unidad de control de temperatura
La fabricación (litografía, grabado, deposición) y las pruebas de chips semiconductores son altamente sensibles a la temperatura:
Alta precisión: la desviación de temperatura provoca una distorsión del patrón de la oblea y una deposición desigual de la película delgada, con una precisión requerida de ±0,1 ℃ o superior.
Amplio rango de temperatura: Los procesos exigen diferentes temperaturas: baja (-40 ℃ ~ 0 ℃) para algunos grabados, alta (50 ℃ ~ 150 ℃) para algunos empaques y pruebas.
Respuesta rápida: el calentamiento/enfriamiento rápido durante el cambio de proceso reduce el ciclo de producción.
Estabilidad: La temperatura constante sostenida evita inconsistencias en el rendimiento causadas por oscilaciones de temperatura.
El agua en el tanque sirve como medio y se envía a equipos con temperatura controlada (como moldes y calderas de reacción) a través de una bomba de circulación.
Después de fluir a través del equipo, el medio transporta energía térmica o fría y regresa a la unidad principal.
El sensor de temperatura dentro de la unidad principal detecta la temperatura del medio y la compara con el valor establecido.
Si la temperatura es inferior al valor establecido, se activa el sistema de calefacción; si es superior, se activa el sistema de refrigeración. Este proceso continúa hasta que la temperatura del medio alcanza el valor establecido, tras lo cual el medio se realimenta al equipo controlado.
P1: No se puede alcanzar la temperatura establecida
A1: Esto puede deberse a una fuga de refrigerante, una falla del compresor o una obstrucción en el sistema de circulación. Es necesario verificar si hay suficiente refrigerante, reparar la fuga y recargarlo; inspeccionar el estado del compresor y realizar mantenimiento o reemplazo si es necesario; y limpiar el sistema de circulación para eliminar obstrucciones.
Q2:Ruido anormal de la bomba de agua o falla en su funcionamiento normal.
A2: Inspeccione el estado de los impulsores y cojinetes de la bomba de agua; reemplácelos si están dañados. Compruebe que las conexiones del motor estén en buen estado y que el suministro eléctrico sea normal.
Q3: Velocidad de calentamiento/enfriamiento lenta
A3: Asegúrese de que el calentador/enfriador funcione correctamente; podría ser necesario reemplazar el elemento calefactor eléctrico o el elemento de refrigeración. Compruebe si el intercambiador de calor está bloqueado o contaminado; limpiarlo puede restaurar su rendimiento. Asegúrese de que el refrigerante circule sin problemas; podría ser necesario inspeccionar y limpiar las tuberías de refrigerante.
Q4: Funcionamiento anormal del compresor
A4: Compruebe que la fuente de alimentación sea estable y cumpla con los requisitos del equipo. Inspeccione el compresor para detectar ruidos o vibraciones anormales, que podrían deberse a daños o desgaste de las piezas internas. Limpie e inspeccione el condensador; si se acumula polvo o suciedad en él, podría sobrecalentarse.
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