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El último producto de Nanjing Lidesheng: máquina de ciclo de temperatura (de -60 °C a 300 °C) para la industria de semiconductores
La unidad de enfriador-calentador con control de temperatura de precisión, dedicada a la industria de semiconductores, es un equipo de proceso clave que integra calefacción, refrigeración y control de temperatura de circuito cerrado. Puede lograr un control preciso de la temperatura de ±0,05 ℃ a ±0,1 ℃ en un amplio rango de -100 ℃ a +300 ℃, proporcionando un entorno térmico estable para procesos como litografía, grabado, dopaje y pruebas de empaquetado, lo que afecta directamente el rendimiento y el rendimiento de los equipos. papas fritas.
Número de artículo :
LCH-05W(A)-10WPedido (cantidad mínima de pedido) :
1Pago :
EXW/FOB/CIF/FCA/DPU/DDUOrigen del producto :
CHINAColor :
CustomizablePuerto de embarque :
SHANGHAI/NANJINGplazo de entrega :
22Peso :
160KG
Integrado caliente y frío unidad de control de temperatura
El equipo se basa en un ciclo frigorífico con compensación de compresión y calentamiento eléctrico, y consigue un control de temperatura de alta precisión mediante un sistema de control de lazo cerrado:
Refrigeración: Compresor → Condensador → Válvula de expansión → Evaporador. El cambio de fase del refrigerante se utiliza para disipar el calor, permitiendo que la temperatura baje rápidamente a -100 °C o menos.
Lado de calefacción: El algoritmo PID impulsa el calentador eléctrico para compensar con precisión el calor, logrando un aumento de temperatura y una temperatura constante estable.
Control de circuito cerrado: los sensores de resistencia de platino PT100/PT1000 recopilan continuamente la temperatura del medio, se combinan con un control predictivo de modelo (MPC) o PID de avance, ajustan dinámicamente la potencia de enfriamiento/calefacción, suprimen las perturbaciones de carga y la precisión de estado estable puede alcanzar ±0,05 ℃.
Circulación limpia: Tubería completamente sellada + diseño sin aceite, evitando la contaminación del medio, en línea con los estándares SEMI S2/S8, adecuado para líquidos fluorados, soluciones de agua de etilenglicol y otros medios especiales conductores de calor.
CaracterísticasProceso de litografía: enfríe la fuente de luz DUV/EUV y el sistema óptico, con una precisión de control de temperatura de ±0,05 ℃, para evitar que la expansión térmica provoque errores de superposición.
Proceso de grabado: Ajuste la temperatura de la solución de grabado (20℃~80℃), estabilice la velocidad de grabado y reduzca la rugosidad de la superficie de la oblea.
Dopaje y recocido: difusión térmica (150℃~300℃), recocido por inyección de iones posteriores (80℃~200℃), para reparar daños en la red y activar átomos dopantes.
Embalaje y pruebas: Ciclos de alta y baja temperatura (-40 ℃ ~ + 150 ℃) para simular entornos extremos, verificar la confiabilidad del dispositivo, con tasas de aumento y caída de temperatura de hasta 5 ℃ / min.
Disipación de calor a nivel de oblea: control de temperatura independiente de múltiples canales, que proporciona un enfriamiento uniforme para empaques avanzados (como CoWoS, Chiplet) y suprime la diafonía térmica.
P1: No se puede alcanzar la temperatura establecida
A1: Esto puede deberse a una fuga de refrigerante, una falla del compresor o una obstrucción en el sistema de circulación. Es necesario verificar si hay suficiente refrigerante, reparar la fuga y recargarlo; inspeccionar el estado del compresor y realizar mantenimiento o reemplazo si es necesario; y limpiar el sistema de circulación para eliminar obstrucciones.
Q2:Ruido anormal de la bomba de agua o falla en su funcionamiento normal.
A2: Inspeccione el estado de los impulsores y cojinetes de la bomba de agua; reemplácelos si están dañados. Compruebe que las conexiones del motor estén en buen estado y que el suministro eléctrico sea normal.
Q3: Velocidad de calentamiento/enfriamiento lenta
A3: Asegúrese de que el calentador/enfriador funcione correctamente; podría ser necesario reemplazar el elemento calefactor eléctrico o el elemento de refrigeración. Compruebe si el intercambiador de calor está bloqueado o contaminado; limpiarlo puede restaurar su rendimiento. Asegúrese de que el refrigerante circule sin problemas; podría ser necesario inspeccionar y limpiar las tuberías de refrigerante.
P4: ¿Puede proporcionar soluciones OEM o personalizadas?
A4: Sí, ofrecemos servicio OEM y sistemas de control de temperatura hechos a medida según los requisitos de su proceso específico (rango de temperatura, medio, capacidad de enfriamiento, etc.).
La unidad todo en uno de calentamiento y enfriamiento funciona como un dispositivo crítico de control de temperatura en la industria de semiconductores, proporcionando principalmente una regulación de temperatura precisa y estable para equipos de proceso y piezas de trabajo durante la producción y prueba de semiconductores para garantizar el rendimiento del proceso y el rendimiento del producto.
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La unidad de enfriador-calentador con control de temperatura de precisión, dedicada a la industria de semiconductores, es un equipo de proceso clave que integra calefacción, refrigeración y control de temperatura de circuito cerrado. Puede lograr un control preciso de la temperatura de ±0,05 ℃ a ±0,1 ℃ en un amplio rango de -100 ℃ a +300 ℃, proporcionando un entorno térmico estable para procesos como litografía, grabado, dopaje y pruebas de empaquetado, lo que afecta directamente el rendimiento y el rendimiento de los equipos. papas fritas.
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IPv6 RED SOPORTADA
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