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Hogar Refrigerador todo en uno para altas y bajas temperaturas

Máquina integrada de formación de membranas de fibra de carbono en caliente y en frío

Máquina integrada de formación de membranas de fibra de carbono en caliente y en frío

La unidad de enfriamiento-calentamiento de control de temperatura de precisión dedicada a la industria de semiconductores es un equipo de proceso clave que integra calentamiento, enfriamiento y control de temperatura de circuito cerrado. Puede lograr un control de temperatura preciso dentro de ±0,05 ℃ a ±0,1 ℃ en un amplio rango de -100 ℃ a +300 ℃, proporcionando un entorno térmico estable para procesos como litografía, grabado, dopaje y pruebas de empaquetado, lo que afecta directamente el rendimiento y desempeño de papas fritas.

  • Número de artículo :

    LCH-30W(A)-60KW
  • Pedido (cantidad mínima de pedido) :

    1
  • Pago :

    EXW/FOB/CIF/FCA/DPU/DDU
  • Origen del producto :

    CHINA
  • Color :

    Customizable
  • Puerto de embarque :

    SHANGHAI/NANJING
  • plazo de entrega :

    25
  • Peso :

    300KG
heating and cooling all-in-one uint

Integrado caliente y frío unidad de control de temperatura

El equipo se basa en un ciclo de refrigeración con compresión y compensación de calefacción eléctrica, y logra un control de temperatura de alta precisión mediante un sistema de control de circuito cerrado:

Circuito de refrigeración: Compresor → Condensador → Válvula de expansión → Evaporador. El cambio de fase del refrigerante se utiliza para eliminar el calor, lo que permite que la temperatura descienda rápidamente hasta -100 ℃ o menos.

Lado de calefacción: El algoritmo PID controla el calentador eléctrico para compensar con precisión el calor, logrando un aumento de temperatura y una temperatura constante y estable.

Control de bucle cerrado: Los sensores de resistencia de platino PT100/PT1000 recogen continuamente la temperatura del medio y, combinados con un control PID de prealimentación o un control predictivo basado en modelo (MPC), ajustan dinámicamente la potencia de refrigeración/calefacción, suprimen las perturbaciones de carga y la precisión en estado estacionario puede alcanzar ±0,05 ℃.

Circulación limpia: Tubería totalmente sellada + diseño sin aceite, que evita la contaminación del fluido, conforme a las normas SEMI S2/S8, apto para líquidos fluorados, soluciones acuosas de etilenglicol y otros fluidos especiales conductores de calor.

Características

Integradocaliente y frío unidad de control de temperatura

Proceso de litografía: Enfríe la fuente de luz DUV/EUV y el sistema óptico, con una precisión de control de temperatura de ±0,05 ℃, para evitar que la expansión térmica provoque errores de superposición.

Proceso de grabado: Ajustar la temperatura de la solución de grabado (20℃~80℃), estabilizar la velocidad de grabado y reducir la rugosidad superficial de la oblea.

Dopaje y recocido: Difusión térmica (150℃~300℃), recocido posterior a la inyección de iones (80℃~200℃), para reparar el daño de la red cristalina y activar los átomos dopantes.

Embalaje y pruebas: Ciclos de alta y baja temperatura (-40 ℃ a +150 ℃) para simular entornos extremos y verificar la fiabilidad del dispositivo, con velocidades de aumento y disminución de la temperatura de hasta 5 ℃/min.

Disipación de calor a nivel de oblea: Control de temperatura independiente multicanal que proporciona una refrigeración uniforme para encapsulados avanzados (como CoWoS y Chiplet), suprimiendo la diafonía térmica.

Principio de funcionamiento fundamental

Ciclo de refrigeración

Utiliza refrigerantes ecológicos (R410A/R134a). El compresor hermético comprime el refrigerante para formar un gas a alta temperatura y presión. Tras enfriarse y licuarse en el condensador, el gas se estrangula y reduce su presión mediante la válvula de expansión. Posteriormente, se produce un intercambio de calor entre el refrigerante y el fluido circulante (aceite térmico/solución acuosa de etilenglicol) en el evaporador, para enfriar dicho fluido y proporcionar energía térmica al reactor.

Ciclo de calentamiento

Utiliza tubos calefactores de acero inoxidable (o calentamiento electromagnético). La potencia de calentamiento se controla mediante un módulo de regulación de potencia inteligente que calienta directamente el fluido circulante, proporcionando así calor al reactor (lo que permite un rápido aumento de la temperatura y un aislamiento térmico constante).

 

Diagrama de flujo del proceso y especificación
 
Water temperature control unit
 
 

Preguntas frecuentes

P1: No se puede alcanzar la temperatura establecida.

A1: Esto puede deberse a una fuga de refrigerante, una falla del compresor o una obstrucción en el sistema de circulación. Es necesario verificar si el refrigerante es suficiente, reparar la fuga y recargar el refrigerante; inspeccionar el estado del compresor y realizar el mantenimiento o reemplazo necesario; limpiar el sistema de circulación para eliminar obstrucciones.

 

P2: Ruido anormal de la bomba de agua o fallo en su funcionamiento normal.

A2: Inspeccione el estado de los impulsores y cojinetes de la bomba de agua; reemplácelos si están dañados. Compruebe que las conexiones del motor estén en buen estado y asegúrese de que el suministro eléctrico sea normal.

 

P3: Velocidad de calentamiento/enfriamiento lenta

A3: Asegúrese de que el calentador/enfriador funcione correctamente; puede ser necesario reemplazar la resistencia eléctrica o la resistencia de refrigeración. Compruebe si el intercambiador de calor está obstruido o contaminado; limpiarlo puede restaurar su funcionamiento. Asegúrese de que el refrigerante circule sin problemas; puede ser necesario inspeccionar y limpiar las tuberías de refrigerante.

 

P4: ¿Pueden proporcionar soluciones OEM o personalizadas?

A4: Sí, ofrecemos servicio OEM y sistemas de control de temperatura a medida según sus requisitos de proceso específicos (rango de temperatura, medio, capacidad de refrigeración, etc.).

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