
Máquina integrada de formación de membranas de fibra de carbono en caliente y en frío
La unidad de enfriamiento-calentamiento de control de temperatura de precisión dedicada a la industria de semiconductores es un equipo de proceso clave que integra calentamiento, enfriamiento y control de temperatura de circuito cerrado. Puede lograr un control de temperatura preciso dentro de ±0,05 ℃ a ±0,1 ℃ en un amplio rango de -100 ℃ a +300 ℃, proporcionando un entorno térmico estable para procesos como litografía, grabado, dopaje y pruebas de empaquetado, lo que afecta directamente el rendimiento y desempeño de papas fritas.
Número de artículo :
LCH-30W(A)-60KWPedido (cantidad mínima de pedido) :
1Pago :
EXW/FOB/CIF/FCA/DPU/DDUOrigen del producto :
CHINAColor :
CustomizablePuerto de embarque :
SHANGHAI/NANJINGplazo de entrega :
25Peso :
300KG
Integrado caliente y frío unidad de control de temperatura
El equipo se basa en un ciclo de refrigeración con compresión y compensación de calefacción eléctrica, y logra un control de temperatura de alta precisión mediante un sistema de control de circuito cerrado:
Circuito de refrigeración: Compresor → Condensador → Válvula de expansión → Evaporador. El cambio de fase del refrigerante se utiliza para eliminar el calor, lo que permite que la temperatura descienda rápidamente hasta -100 ℃ o menos.
Lado de calefacción: El algoritmo PID controla el calentador eléctrico para compensar con precisión el calor, logrando un aumento de temperatura y una temperatura constante y estable.
Control de bucle cerrado: Los sensores de resistencia de platino PT100/PT1000 recogen continuamente la temperatura del medio y, combinados con un control PID de prealimentación o un control predictivo basado en modelo (MPC), ajustan dinámicamente la potencia de refrigeración/calefacción, suprimen las perturbaciones de carga y la precisión en estado estacionario puede alcanzar ±0,05 ℃.
Circulación limpia: Tubería totalmente sellada + diseño sin aceite, que evita la contaminación del fluido, conforme a las normas SEMI S2/S8, apto para líquidos fluorados, soluciones acuosas de etilenglicol y otros fluidos especiales conductores de calor.
Proceso de litografía: Enfríe la fuente de luz DUV/EUV y el sistema óptico, con una precisión de control de temperatura de ±0,05 ℃, para evitar que la expansión térmica provoque errores de superposición.
Proceso de grabado: Ajustar la temperatura de la solución de grabado (20℃~80℃), estabilizar la velocidad de grabado y reducir la rugosidad superficial de la oblea.
Dopaje y recocido: Difusión térmica (150℃~300℃), recocido posterior a la inyección de iones (80℃~200℃), para reparar el daño de la red cristalina y activar los átomos dopantes.
Embalaje y pruebas: Ciclos de alta y baja temperatura (-40 ℃ a +150 ℃) para simular entornos extremos y verificar la fiabilidad del dispositivo, con velocidades de aumento y disminución de la temperatura de hasta 5 ℃/min.
Disipación de calor a nivel de oblea: Control de temperatura independiente multicanal que proporciona una refrigeración uniforme para encapsulados avanzados (como CoWoS y Chiplet), suprimiendo la diafonía térmica.
P1: No se puede alcanzar la temperatura establecida.
A1: Esto puede deberse a una fuga de refrigerante, una falla del compresor o una obstrucción en el sistema de circulación. Es necesario verificar si el refrigerante es suficiente, reparar la fuga y recargar el refrigerante; inspeccionar el estado del compresor y realizar el mantenimiento o reemplazo necesario; limpiar el sistema de circulación para eliminar obstrucciones.
P2: Ruido anormal de la bomba de agua o fallo en su funcionamiento normal.
A2: Inspeccione el estado de los impulsores y cojinetes de la bomba de agua; reemplácelos si están dañados. Compruebe que las conexiones del motor estén en buen estado y asegúrese de que el suministro eléctrico sea normal.
P3: Velocidad de calentamiento/enfriamiento lenta
A3: Asegúrese de que el calentador/enfriador funcione correctamente; puede ser necesario reemplazar la resistencia eléctrica o la resistencia de refrigeración. Compruebe si el intercambiador de calor está obstruido o contaminado; limpiarlo puede restaurar su funcionamiento. Asegúrese de que el refrigerante circule sin problemas; puede ser necesario inspeccionar y limpiar las tuberías de refrigerante.
P4: ¿Pueden proporcionar soluciones OEM o personalizadas?
A4: Sí, ofrecemos servicio OEM y sistemas de control de temperatura a medida según sus requisitos de proceso específicos (rango de temperatura, medio, capacidad de refrigeración, etc.).
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