La unidad de enfriador-calentador con control de temperatura de precisión, dedicada a la industria de semiconductores, es un equipo de proceso clave que integra calefacción, refrigeración y control de temperatura de circuito cerrado. Puede lograr un control preciso de la temperatura de ±0,05 ℃ a ±0,1 ℃ en un amplio rango de -100 ℃ a +300 ℃, proporcionando un entorno térmico estable para procesos como litografía, grabado, dopaje y pruebas de empaquetado, lo que afecta directamente el rendimiento y el rendimiento de los equipos. papas fritas.
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